2026年11月13日

スパッタリングターゲット買取ガイド｜使用済みターゲットの評価とバッキングプレート

成膜工程で使い終えたスパッタリングターゲットや端材は、材質によっては貴金属スクラップとして評価できる可能性があります。ただし、買取の可否や評価額は、材質・含有金属・状態・量などによって変わります。この記事では、使用済みターゲットの評価に関わる要素、バッキングプレートが付いた状態で相談する際の注意点、査定前の準備、相談から支払いまでの流れを整理します。

この記事の要点

  • 使用済みターゲットでも、貴金属を含む材質であれば評価対象になる可能性があります。可否は現物や成分情報をもとにした事前相談で確認します。
  • 奈良屋貴金属の公式サイトでは、評価対象を金（Au）・パラジウム（Pd）・ロジウム（Rh）・銀（Ag）・白金（Pt）の5元素とし、それ以外の成分は評価されないと案内されています（2026年11月13日確認）。
  • スパッタリングターゲットやバッキングプレート付き品の取扱可否は、公式サイトに個別の記載がありません。送付前に材質・重量・写真などを伝えて相談してください。
  • 分析は破壊分析のため、品物を元の姿で返却することはできません。

目次

スパッタリングターゲットとは

◆スパッタリングと成膜工程での役割

スパッタリングとは、真空装置の中でイオンを材料にぶつけ、はじき出された原子を基板に付着させて薄い膜をつくる成膜方法です。このとき膜の原料になる板状・円筒状の材料を、スパッタリングターゲット（ターゲット材）と呼びます。

半導体、電子部品、ディスプレイ、記録媒体、光学部品、分析用試料の前処理など、幅広い分野で使われています。

◆貴金属を使うターゲットと使わないターゲット

ターゲットの材質は、成膜したい膜によってさまざまです。売却を考えるうえでは、まず貴金属を含む材質かどうかが分かれ目になります。

区分材質の例売却を考える際の見方
貴金属系金、銀、白金、パラジウム、およびこれらの合金貴金属スクラップとして評価できる可能性がある
白金族のうち流通量の少ない金属ルテニウム、イリジウムなど評価できる元素は業者によって異なるため、対象元素の確認が必要
貴金属以外アルミニウム、チタン、銅、クロム、酸化物（ITOなど）貴金属の買取とは別の扱いになる。貴金属買取業者では評価されない場合がある

イリジウムやルテニウムを含むターゲット材の評価については、イリジウム・ルテニウムの買取｜スパークプラグ・電極・ターゲット材の評価で詳しく解説しています。本記事では、スパッタリングターゲット全般と、使用済み材・バッキングプレートの扱いを中心に説明します。

使用済みターゲットや端材は評価対象になるのか

◆使い終えてもターゲット材が残る理由

スパッタリングでは、ターゲットの表面全体が均一に減るわけではありません。装置の磁場の影響で特定の部分だけが深く削られ、その部分が限界に達した時点で交換になります。この削られた部分をエロージョン（侵食部）と呼びます。

そのため、交換時点でも削られていない部分にはターゲット材が残っています。製品としての役目を終えていても、素材としての貴金属がなくなるわけではありません。

◆評価対象になる可能性があるものの例

  • 使用済みの貴金属系ターゲット（板状・円盤状・円筒状）
  • ターゲットの加工や切断で出た端材、割れた破片
  • 仕様変更や在庫整理で使わなくなった未使用のターゲット
  • 小型の成膜装置や分析機器の前処理装置で使った小さなターゲット

奈良屋貴金属の公式コラムでは、金系スパッタリング材料の残材を、金を回収できる可能性がある品目として紹介しています。ただし、これは個別の品物の買取を約束するものではありません。奈良屋貴金属で取り扱っている品目の全体像は、工業用貴金属スクラップ買取のページで確認できます。

◆評価が難しい可能性があるもの

次のようなものは、貴金属スクラップとしての評価が難しい、または業者によって対応が分かれる可能性があります。

  • 貴金属を含まない材質のターゲット
  • 買取業者の評価対象に入っていない元素だけでできたターゲット
  • 貴金属の量がごくわずかなもの（装置内の部品に薄く付着した膜など）

どれに当たるかは見た目では判断しにくいため、廃棄や送付の前に、材質や状態を伝えて確認することをおすすめします。

使用済みターゲットの評価に関わる主な要素

ここで挙げるのは、貴金属スクラップの評価で一般的に影響し得る要素です。業者ごとの確定した査定基準ではなく、最終的な評価は分析結果にもとづいて決まります。

◆材質・含有金属

どの貴金属が、どのくらいの割合で含まれているかが評価の出発点です。純金や純銀のような単体のターゲットもあれば、複数の金属を組み合わせた合金ターゲットもあります。合金の場合は、評価される元素とされない元素が混ざっていることがあります。

◆残存量と重量

使用済みターゲットは、使用の度合いによって残っている量が変わります。新品時の重量ではなく、現在の重量が目安になります。また、後述するバッキングプレートが付いている場合、全体の重量にはターゲット材以外の重さが含まれます。

◆付着物・異物・接合材

成膜中に付いた膜、接合に使われた材料、油分や汚れ、割れたセラミックス部品などが混ざっていると、正味の貴金属量が分かりにくくなります。分析前に取り除く前処理の工程も増えるため、評価や納期に影響することがあります。

◆分析・精錬の条件

貴金属スクラップは、不純物を取り除く精錬と、含有量を測る分析を経て評価額が決まるのが一般的です。分析手数料の考え方、どの日の相場で評価するか、取引が成立しなかった場合の扱いは業者によって異なります。奈良屋貴金属の条件は、奈良屋貴金属に相談する際の確認事項でまとめています。

ターゲット材とバッキングプレートの違い

◆バッキングプレートの役割と一般的な材質

バッキングプレートとは、ターゲット材を装置に固定し、成膜中に発生する熱を逃がすための土台となる板です。一般的には、熱を伝えやすい銅や銅合金などの金属が使われます。

項目ターゲット材バッキングプレート
役割膜の原料固定・冷却のための土台
一般的な材質成膜したい金属・合金・化合物銅、銅合金など
貴金属スクラップとしての見方貴金属を含めば評価の中心になる通常は貴金属を含まないため、貴金属としての評価は見込みにくい

つまり、評価の中心になるのはターゲット材の部分です。バッキングプレートの重さは、貴金属の量には直結しません。

◆ターゲット材との接合方法

ターゲット材とバッキングプレートを貼り合わせることをボンディングと呼びます。一般的には、インジウムなどの低い温度で溶ける金属を使って接合する方法、樹脂系の接着材を使う方法、圧力と熱で直接接合する方法などがあります。ねじやクランプで固定するだけのタイプや、バッキングプレートを使わない一体型のターゲットもあります。

どの方法で接合されているかによって、分離のしやすさは変わります。ここまでの内容は一般的な説明であり、分離の可否や対応方法は品物と業者ごとに確認が必要です。

バッキングプレートが付いた状態で相談する際の注意点

奈良屋貴金属の公式サイトには、バッキングプレート付きターゲットの受け入れや、分離作業の対応についての記載はありません（2026年11月13日確認）。次の点を整理したうえで、送付前に相談してください。

◆総重量とターゲット材の重量を区別して伝える

バッキングプレートが付いたまま量った重量は、貴金属の量を示すものではありません。全体の重量に加えて、新品時の仕様書や納品書に記載されたターゲット材の寸法・重量が分かれば、あわせて伝えると判断材料になります。

◆自己判断で無理に分離しない

分離してから売却したほうがよいかどうかは、接合方法や業者の受け入れ条件によって変わります。加熱や切断で無理に外そうとすると、やけどやけがの危険があるほか、ターゲット材が欠けて回収できる量が減るおそれもあります。分離すべきか迷う場合は、付いたままの状態で写真を撮り、先に相談するのが安全です。

◆サイズと重量から発送方法を確認する

大型のターゲットは、バッキングプレートを含めると重く大きくなります。奈良屋貴金属の宅配買取は、着払いで最大80サイズ・1個口までと案内されており、量が多い場合はまず電話で詳細を知らせるよう記載されています。大型品や複数枚ある場合は、発送前に受け渡し方法を確認しましょう。

査定前に確認・準備したい情報

◆材質が分かる資料を探す

ターゲット本体の刻印やラベル、購入時の仕様書、納品書、検査成績書、分析表などに、材質や純度が記載されていることがあります。購入元のメーカー名や型番が分かれば、それも手がかりになります。

資料の数値と、実際に回収できる量が一致するとは限りません。資料はあくまで判断材料で、最終的な評価は分析結果で決まります。

◆写真で状態を記録する

  • 全体が分かる写真（大きさの目安になる定規などを添える）
  • 使用面の削れ方が分かる写真
  • 側面や裏面など、バッキングプレートとの境目が分かる写真
  • 刻印・ラベル・型番が読める写真

◆安全面と受け入れ条件を確認する

奈良屋貴金属の公式サイトでは、液体の品物、含有率の低い品物、国や都道府県などが規制する成分（放射性成分、ヒ素、水銀、カドミウム、セレンなど）を含む品物は引き受けできないと案内されています。毒物・劇物を含むものは別途相談とされています。合金や化合物のターゲットは、成分に該当するものがないかを事前に確認してください。

買取相談から査定・支払いまでの流れ

ここでは、奈良屋貴金属の公式サイトに掲載されている流れを紹介します（2026年11月13日確認）。条件は変更される場合があるため、申し込み前に最新の内容をご確認ください。

◆送付前の事前相談

スパッタリングターゲットは、公式サイトに取扱可否の個別の記載がない品目です。品物を送る前に、材質・重量・形状・写真などを伝えて、取扱いが可能かどうかを確認してください。

◆お預かりから振込までの6ステップ

  1. お預かり：店頭または宅配便で受け付け。来店の場合は事前に連絡します。
  2. 検品・計量：電子機器で計量します。
  3. 成分別精密分析：前処理から精密分析・査定までを自社で行います。
  4. 見積もりの連絡：分析報告書の報告日付の相場で評価し、分析査定報告書としてメール・電話・FAXで連絡があります。
  5. 成立：内容を了承したうえで取引が成立します。
  6. 振込：提示金額が指定の口座に振り込まれます。

◆支払い時期の目安

公式サイトでは、買取金額が17時までに確定すれば当日に送金、金曜日の17時以降は翌週月曜日の午前中に送金と案内されています。一方で、依頼の混雑状況によっては最大3営業日、商材によっては4週間程度かかる場合があるとも記載されています。付着物が多いものや前処理に手間がかかるものは、時間に余裕をみておきましょう。

金・プラチナ・パラジウム・銀のスクラップ買取価格は、公式サイトのトップページで更新日とともに公表されています。相場は日々変動するため、評価額は分析報告日の相場と分析結果によって決まります。

奈良屋貴金属に相談する際の確認事項

◆評価対象は5元素

奈良屋貴金属の公式サイトでは、合計評価金額は金・パラジウム・ロジウム・銀・白金の評価金額の合計とされ、これら5元素以外の成分は評価されないと案内されています。ターゲットの材質がこの5元素を含むかどうかを、最初に確認してください。

◆破壊分析と返却の条件

分析法は破壊分析のため、品物を元の姿で返却することはできないと案内されています。また、5元素（金・プラチナ・パラジウム・銀・ロジウム）が含まれていない場合や、貴金属含有量がごく少ない場合は、返送料が依頼者の負担になります。再利用や他社への売却の可能性を残したい品物は、送付前によく検討してください。

◆分析手数料と取扱対象外の品物

  • 分析手数料は合計評価金額の15％が上限で、15％を超える品物は取引できないと案内されています。
  • メッキ製品と、自動車・内燃機関の排気触媒は取扱いがありません。
  • 熱電対や貴金属含有ペーストを紹介する箇所には、商材の特性上1kg以上で引き受けるとの記載があります。ターゲットに適用されるかは記載がないため、少量の場合は事前に確認してください。

装置内の部品に薄く付着した膜がメッキ製品と同じ扱いになるかどうかは、公式サイトからは判断できません。該当する品物は、構造を伝えて個別に確認しましょう。

よくある質問

Q. 使用済みスパッタリングターゲットは買取してもらえますか？

A. 貴金属を含む材質であれば、使用済みでも評価対象になる可能性があります。奈良屋貴金属の評価対象は金・パラジウム・ロジウム・銀・白金の5元素です。買取の可否は材質や状態によって異なるため、材質・重量・写真などを伝えて事前にご相談ください。

Q. バッキングプレートが付いたままでも査定を相談できますか？

A. 相談は可能です。ただし、バッキングプレート付き品の受け入れ条件は公式サイトに記載がないため、付いた状態の写真、全体の重量、分かる範囲でのターゲット材の寸法や材質を伝えて、送付前に確認してください。

Q. ターゲット材の材質が分からなくても相談できますか？

A. 相談できます。刻印、ラベル、購入時の資料、使用していた装置や成膜していた膜の種類が手がかりになります。ただし、評価対象の5元素が含まれていない場合は返送料が依頼者の負担となり、破壊分析のため元の姿では戻りません。分かる範囲の情報を先に伝えて確認することをおすすめします。

Q. 端材や少量のターゲットでも相談できますか？

A. 相談できます。取引できるかどうかは、貴金属の含有量や分析手数料の上限（合計評価金額の15％）との関係で変わります。少量の場合は、重量と材質を伝えて事前にお問い合わせください。

Q. 査定を依頼する前に、ターゲットを分解・洗浄する必要がありますか？

A. 自己判断で分解や洗浄をする前に、現状のまま相談することをおすすめします。無理な分離はけがやターゲット材の欠損につながるおそれがあり、必要な処置は品物によって異なります。

Q. 金や銀以外のターゲット（ITOやルテニウムなど）も評価されますか？

A. 奈良屋貴金属では、金・パラジウム・ロジウム・銀・白金以外の成分は評価されないと案内されています。これら以外の元素が主成分のターゲットは、評価対象の元素を含むかどうかを確認したうえでご相談ください。

Q. 査定のために送ったターゲットを、そのまま返してもらうことはできますか？

A. 分析法が破壊分析のため、元の姿での返却はできないと案内されています。返却の可能性がある品物は、送付前にその旨を伝えて条件を確認してください。

スパッタリングターゲットの売却は、まず材質と状態を伝えて相談を

使用済みのスパッタリングターゲットは、材質によっては貴金属資源として評価できる可能性があります。一方で、評価される元素、バッキングプレートの扱い、破壊分析の条件など、送る前に確認しておきたい点も少なくありません。廃棄を決める前に、まず現状を伝えて相談してみてください。

◆相談時に伝えると確認が進みやすい情報

次の情報は必須ではありませんが、分かる範囲で伝えると確認が進みやすくなります。

項目伝える内容の例
材質材質表示、刻印、合金の組成
資料の有無仕様書、納品書、検査成績書、分析表
重量全体の重量、ターゲット材のみの重量（分かる場合）
形状・寸法・数量板状・円盤状・円筒状、直径や厚み、枚数
使用状況使用済みか未使用か、端材か、使用していた工程
バッキングプレート付いているかどうか、材質（分かる場合）
写真全体、使用面、側面の境目、刻印やラベル

◆問い合わせ・申し込み方法

取扱いの可否を確認したあとの申し込み方法や、宅配買取の手順は、奈良屋貴金属の買取サービスと申し込み方法（公式トップページ）でご案内しています。